PVD法制备氮化硼薄膜

来源：宏元化工原料批发厂家资讯手机页面直通车浏览：408 发布日期：2019-03-06 16:40:25【大中小】

信息摘要：

氮化硼薄膜光学带隙较宽，在红外和可见光波段是透明的，而在紫外光波段有较强的吸收性，还具有高声波传输速率，可将其作为光电功能材料应用于紫外空间光调制器领域和体声波与表面声波器件材料。

PVD法制备氮化硼薄膜

氮化硼

氮化硼薄膜可以通过PVD法制备而得，PVD法是在高真空环境下，将高纯氮化硼蒸发，同时辅以氮气或氩气离子轰击衬底表面而在衬底表面沉积出氮化硼薄膜，目前主要包括蒸发法和溅射法。PVD法制备的氮化硼薄膜的特点是薄膜结构均匀单一、纯度高，但是设备复杂、成本高、生长速率低。

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