六方氮化硼的复原渗氮法

复原渗氮法是什么？离子渗氮法(或辉光放电氮化）是由德国人B.Berghaus于1932年发明的。离子渗氮的主要工艺参数包括热、电、气三个方面，主要有处理温度、时间、气体成分、流量与压力、辉光电压与电流密度等。该法是在0.1～10Torr（Torr = 133.3 Pa）的含氮气氛中，以炉体为阳极，被处理工件为阴极，在阴阳极间加上数百伏的直流电压，由于辉光放电现象便会产生象霓红灯一样的柔光覆盖在被处理工件的表面。

此时，已离子化了的气体成分被电场加速，撞击被处理工件表面而使其加热。同时依靠溅射及离子化作用等进行氮化处理。

六方氮化硼的复原渗氮法是将六方氮化硼煅烧体粉碎而制作的碎末，在六方氮化硼煅烧体制作流程中的压合或预挤压成型时，六方氮化硼 离子以多次物体产生趋向的情况而非空子集的物体的占比变多，因此与过去对比具备某些改进作用，但仍然以六方物体的a轴方位越来越与接地散热器的面方位平形的方法被填冲。并且成本增加。与此同时，有关以硼氧化物和碳为原材料在氮氛围下生成六方的复原渗氮法，公布了生成鳞片状六方氮化硼的方式(参照日本特开昭60-155507号公报)、生成六方氮化硼纳米管的方式。