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热解氮化硼的制备方法

2020-02-20 19:15:22 

信息摘要:氮化硼材料主要是由六方氮化硼粉末经热压而成,具有少量的助溶剂,但这种方法容易将空穴和杂质引入烧结体中以及热压引起的各向异...

氮化硼材料主要是由六方氮化硼粉末经热压而成,具有少量的助溶剂,但这种方法容易将空穴和杂质引入烧结体中以及热压引起的各向异性,使得其应用非常有限,特别是在高温和氧化环境中..高纯度和高密度热解氮化硼(pbn)材料可以通过化学气相沉积(cvd)来制备,并适当控制工艺参数..的热解氮化硼(PBN)。制备工艺参数的效果是非常大的,主要是硼 - 四个氮,温度,压力,反应器结构等。氮化硼的反应进料气体被沉积主要分为两类:硼+氮气+载体/稀释气体的源;两个元素硼和含化合物+载气/稀释气体的氮气。氮化硼的沉积可在大的温度范围(250℃-2300℃)内变化。通常,温度越高,沉积氮化硼的更好的结晶性。

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氮化物中的压力变化1-760torr硼的沉积。沉积非多孔基材可以是过渡金属基体,结构陶瓷,电子陶瓷,玻璃,石墨,和陶瓷颗粒。热解氮化硼材料具有优异的物理化学性能,化学气相沉积(CVD)是制备高纯度致密氧化硼材料的良好选择..热解氮化硼(PBN)的结构、形貌和性能与工艺条件密切相关。化学气相沉积法(CVD)制备的氮化硼大多在薄膜和粉末中,而大规模块体氮化硼仅限于高度各向异性的热解氮化硼,没有充分发挥热解氮化硼的结构多样性,限制了其在更广阔的领域中的应用。因此,对力学性能优异的氮化硼各向同性热解的研究相对较少,鉴于热解氮化硼的广泛应用,热解氮化硼材料的制备工艺有待进一步研究,特别是沉积机理的研究,为热解氮化硼的可控制备提供了坚实的基础..