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六方薄膜

近年来,高频声表面波(SAW)器件的主要研究热点是高声速、优压电性的基片材料。六方氮化硼(h-BN)具有高声波传播速率,属于六方晶系,具有压电效应,高的化学稳定性和热稳定性,可作为压电薄膜应用于声表面波器件中。

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